混合气体批发价格常用指南「丰之茂工业气体」

当管内气流为不连续流动时，管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时，管材所吸附的气体又形成解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。

同时，吸附、解析周而复始，使得管材内表面金属也会产生一定的粉末，这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度，不仅要求管材内表面有一个极高的光滑度，而且，应当具有很高的耐磨特性。

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316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。

另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。

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